石英玻璃的結構松馳，在高溫下還允許某些氣體的離子通過網絡進行擴散，其中以鈉離子的擴散為較快。

石英玻璃的這一性能對于使用者成為重要，例如，半導體工業(yè)用石英玻璃作為高溫容器或擴散管時，由于半導體材料要求很高的純度，所以要求與石英玻璃接觸的作為爐襯的耐火材料必須預先經過高溫和清潔處理，除掉鉀、鈉等堿性雜質，然后才能放入石英玻璃內使用。

在常溫下，可以認為石英玻璃是不透氣的，在高溫（例如700℃）下，某些氣體的透氣常數也很小。因此可以用在高溫高真空裝備中。